芯片、光伏、显示屏厂保温管道电加热夹套

简要描述：芯片、光伏、显示屏厂保温管道电加热夹套：DIFF、ETCH、CVD、EPI部门，Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。

产品型号： VC-DJR-156

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更新时间：2023-11-20

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芯片、光伏、显示屏厂保温管道电加热夹套的前因：

由于半导体生产常常需要使用各种化学气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气，这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理，以减少对环境的污染。因此，在半导体制造机台中，尾气处理装置是半导体加工中的BB工具。在等离子体干法刻蚀过程中，气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，经过在真空反应室内的一系列反应后，气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶，因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上，极易对排气管进行堵塞，同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不CD，同时提高生产成本。

需要加热马甲的部门：

DIFF、ETCH、CVD、EPI部门，Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。

加热马甲作用：

通过升高管路工作温度，减少管内介质结晶，避免管路堵塞，减少PM周期，提高产能。

加热马甲温度要求：

PVD：150°、170°（也有180°）

ETCH：80°-120°

芯片、光伏、显示屏厂保温管道电加热夹套

形结构制作，包括法兰，阀门，管路，泵体等，限度的减少暴露点，维持可靠安全的温度环境，防止沉积。    

芯片、光伏、显示屏厂保温管道电加热夹套整体为柔性耐腐蚀材质制作，不燃、可在洁净环境下使用，保温隔热层有效的组织了热量的散失，功率密度分布均匀的加热层和内置温度传感器及温度保险装置保证了加热温度的均匀性和可靠性。根据被加热体的机

构变化，由多个加热套组成一个加热系统，整体对被加热体进行加热保温，系统内的个体加热套可以分别拆卸反复使用，大大降低了使用和维护成本，个体加热套之前通过专用插头连接，组成了一个高效的保温加热系统。

根据使用要求有多种方式可对加热系统进行温度控制和安全监护，加热系统中每一个个体加热套可独立外挂温控模块进行控温。