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半导体保温管道电加热夹套

半导体保温管道电加热夹套

简要描述:半导体保温管道电加热夹套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部门,Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。

产品型号: VC-DJR-150

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更新时间:2023-11-20

详细说明:


半导体保温管道电加热夹套的前因:

由于半导体生产常常需要使用各种化学气体,这些气体也会随着工艺的过程,由真空泵从反应腔体抽出,形成各种有毒有害的工艺尾气,这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理,以减少对环境的污染。因此,在半导体制造机台中,尾气处理装置是半导体加工中的BB工具。在等离子体干法刻蚀过程中,气体供给口提供的气体主要由Cl2CF4SF6O2HeBCl3等,经过在真空反应室内的一系列反应后,气体排出口排出的尾气主要包括TiClxAlClxMoClxMoFxSiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶,因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上,极易对排气管进行堵塞,同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不CD,同时提高生产成本。

需要加热马甲的部门:

DIFFETCHCVDEPI部门,Pumping linePump exhaust管路需加装加热夹套。

加热马甲作用:

通过升高管路工作温度,减少管内介质结晶,避免管路堵塞,减少PM周期,提高产能。

加热马甲温度要求:

PVD150°、170°(也有180°)

ETCH80°-120°

半导体保温管道电加热夹套

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